अभिलक्षणिक $X-$किरण विकिरण तब उत्सर्जित होता है,जब
- Aइलेक्ट्रॉनों को एक निश्चित ऊर्जा तक त्वरित किया जाता है
- Bइलेक्ट्रॉनों का स्रोत एक मोनोएनर्जेटिक बीम उत्सर्जित करता है
- Cबमबारी करने वाले इलेक्ट्रॉन लक्ष्य परमाणुओं की आंतरिक कक्षा से इलेक्ट्रॉनों को बाहर निकाल देते हैं और बाहरी कक्षाओं में से एक इलेक्ट्रॉन इस रिक्ति में गिर जाता है
- Dटक्कर के परिणामस्वरूप लक्ष्य परमाणुओं में संयोजी इलेक्ट्रॉन हटा दिए जाते हैं
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